等离子体射频电源系统

2025年中国等离子体射频电源系统行业壁垒、市场政策、产业链图谱、市场规模、竞争格局及发展趋势研判：MKS、AE等国际巨头占据主导地位图]

等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统，主要由等离子体射频电源和匹配器组成。等离子体射频电源是可以产生正弦波电压，工作频率范围一般处于3KHz至300GHz之间，具有一定功率的工艺电源。