2025年中国等离子体射频电源系统行业壁垒、市场政策、产业链图谱、市场规模、竞争格局及发展趋势研判：MKS、AE等国际巨头占据主导地位图]

内容概要：我国等离子体射频电源系统行业起步较晚，但近年来在国家政策的加持下发展迅速，据统计，2024年我国等离子体射频电源系统行业市场规模达123.3亿元，同比增长9.50%，未来，随着科技的持续进步和市场需求的日益增长，我国等离子体射频电源系统市场有望迎来更广阔的发展空间。

上市企业：英杰电气（300820）、北方华创（002371）

相关企业：MKS Instruments, Inc.、Advanced Energy Industries, Inc.、深圳市恒运昌真空技术股份有限公司、江苏神州半导体科技有限公司、深圳市瀚强科技股份有限公司、深圳市广能达半导体科技有限公司

关键词：等离子体射频电源系统行业壁垒、等离子体射频电源系统市场政策、等离子体射频电源系统产业链图谱、等离子体射频电源系统市场规模、等离子体射频电源系统竞争格局、等离子体射频电源系统发展趋势

一、概述

等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统，主要由等离子体射频电源和匹配器组成。等离子体射频电源是可以产生正弦波电压，工作频率范围一般处于3KHz至300GHz之间，具有一定功率的工艺电源。其核心作用是通过产生高频电场，在晶圆反应腔体内将特定工艺气体电离，创造并维持高活性、高能量的等离子体，并利用等离子体的特殊性能实现薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等复杂半导体工艺（薄膜沉积、刻蚀与光刻并称为芯片制造三大关键工序）。等离子体射频电源系统的性能直接影响薄膜沉积、刻蚀等环节中等离子体的成分浓度、均匀性和稳定性等，对于薄膜沉积的厚度、密度、应力、速率，以及刻蚀的选择性、方向性、速率、质量等至关重要，进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率，等离子体射频电源系统在半导体制造核心装备中占据着核心位置。

二、行业壁垒

半导体设备核心零部件是半导体设备技术更迭和制程演进的重要承载，在半导体工艺和芯片结构日趋复杂的背景下，半导体设备商对核心零部件厂商的要求更为严苛，包括对产品的可靠性、稳定性和一致性及核心零部件厂商的研发能力、技术实力。因此，半导体设备核心零部件行业的技术壁垒很高，等离子体射频电源系统作为薄膜沉积设备、刻蚀设备等半导体设备的核心零部件，技术要求极高，此外，由于半导体设备和产线结构的复杂性，各设备的良率、稳定性会对整个制造体系产生累积效应，设备零部件的瑕疵或问题可能引起巨额的潜在损失，因此半导体设备商及晶圆厂对于零部件的验证、验收有严苛的标准和流程，且在设备定型后，不会轻易更换机台上所使用的等离子体射频电源系统，以此满足半导体“精确复制”的管理模式，因此，半导体设备商及晶圆厂往往会选择长期合作的核心零部件供应商。

三、市场政策

根据国家统计局发布的《国民经济行业分类》（GB/T4754—2017），等离子体射频电源系统属于“半导体器件专用设备制造”，行业代码为“C3562”。我国高度重视半导体等核心产业发展，相继出台《电子信息制造业2023—2024年稳增长行动方案》《河套深港科技创新合作区深圳园区发展规划》《产业结构调整指导目录（2024年本）》《关于加快数字经济高质量发展的意见》《贯彻实施〈国家标准化发展纲要〉行动计划（2024—2025年）》《关于做好2024年享受税收优惠政策的集成电路企业或项目、软件企业清单制定工作有关要求的通知》《中共中央关于进一步全面深化改革推进中国式现代化的决定》等一系列政策，大力推动等离子体射频电源系统行业进步。

四、产业链

1、产业链结构

等离子体射频电源系统行业上游主要包括电容、MOSFET、芯片及模组等电子件供应商，功率模块等电气件供应商以及结构件等原材料供应商；行业中游为等离子体射频电源系统研发、制造等环节；行业下游为应用市场，涵盖半导体、光伏、显示面板等诸多领域。

2、上游

从上游成本结构来看，目前，包括电容、MOSFET、芯片及模组、功率模块、结构件在内的原材料占比最大，超70%，因此，等离子体射频电源系统企业需要与上游供应商建立长期稳定的战略合作关系，通过联合研发新材料、优化采购流程、批量集中采购等方式，降低原材料的采购成本，同时，要密切关注上游产业链的技术迭代和价格波动，提前布局关键原材料的储备与替代方案，以增强对成本的把控能力，从而在激烈的市场竞争中保持产品的价格优势和利润空间，为企业的持续发展奠定坚实基础。

3、下游

从下游需求结构来看，目前，半导体为我国等离子体射频电源系统最大需求市场，占比超50%，半导体设备处于半导体产业链的上游环节，是半导体产业的基石，是提升我国半导体产业链供应链韧性的关键，据SEMI数据显示，2023年我国半导体设备市场规模达366亿美元，占全球半导体设备市场整体规模的34.56%，2024年我国半导体设备市场规模有望突破450亿美元，市场占比有望突破40%，等离子体射频电源系统作为半导体设备的电气类核心零部件，随着半导体设备市场的持续繁荣将迎来更广阔的发展空间。

相关报告：开云电竞官方网站下载安装 发布的《中国等离子体射频电源系统行业市场动态分析及未来趋势研判报告》

五、发展现状

随着半导体、光伏、显示面板等下游市场的飞速发展，带动等离子体射频电源系统市场需求与日俱增，市场规模持续扩容，据统计，2024年全球等离子体射频电源系统行业市场规模达55.0亿美元，同比增长10.22%，未来，随着半导体制程的不断演进，薄膜沉积、刻蚀等半导体工艺复杂度与精细度不断提升，对等离子体射频电源系统技术指标要求也越来越高，同时也形成了新的技术升级驱动力。

从国内市场来看，我国等离子体射频电源系统行业起步较晚，但近年来在国家政策的加持下发展迅速，据统计，2024年我国等离子体射频电源系统行业市场规模达123.3亿元，同比增长9.50%，未来，随着科技的持续进步和市场需求的日益增长，我国等离子体射频电源系统市场有望迎来更广阔的发展空间。

六、竞争格局

1、整体格局

等离子体射频电源系统具有技术壁垒高、研发投入大、研发周期长、生产的“精确复制”要求极高的特点，加之我国等离子体射频电源系统行业起步较晚，因此，等离子体射频电源系统成为我国半导体设备零部件国产化最难关卡之一，国产化率较低。目前，等离子体射频电源系统由国际头部厂商垄断，极少数国产厂商参与等离子体射频电源系统市场呈现高度集中的竞争格局，主要由美国的MKS、AE等国际巨头主导，近年来，国内企业也在加速追赶，如深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是国内极少数实现量产半导体级等离子体射频电源系统的企业，其产品能支撑14纳米先进制程，另外，四川英杰电气股份有限公司、华丞电子（北方华创子公司）等也是该中游环节的参与者。

2、代表国产企业分析

（1）四川英杰电气股份有限公司

四川英杰电气股份有限公司作为国内综合性工业电源研发及制造领域具有较强实力和竞争力的企业之一，主要专注于电力电子技术在工业各领域的应用，从事以功率控制电源、特种电源为代表的工业电源设备的研发、生产与销售以及新能源汽车充电桩/站的研发、生产和销售。近年来，公司加大了在半导体及电子材料领域的投入，重点攻关半导体刻蚀、薄膜沉积（CVD/PECVD）、离子注入等关键制程电源技术，同步拓展碳化硅外延、复合铜箔等新兴领域，部分型号射频电源已实现量产，覆盖5nm刻蚀及PECVD等先进制程，已经申请了数十项半导体电源相关专利。2024年英杰电气营业总收入达17.80亿元，毛利润6.86亿元，毛利率为3.85%。

（2）深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，自研产品具体包括等离子体射频电源系统（等离子体射频电源及匹配器）、等离子体激发装置（远程等离子体源、射频离子源）、等离子体直流电源、配件（滤波器、阻抗调整器等）；引进产品主要包括真空获得和流体控制分别所需的真空泵、质量流量计等核心零部件；同时还为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务。

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司于2013年成立，先后经历了起步探索期（2013-2017年）、快速发展期（2018-2022年）、持续创新期（2023-至今）。在各发展阶段，公司发展引进业务的同时，在自研方面以等离子体射频电源系统关键技术的不断突破为核心，围绕等离子体工艺核心零部件整体解决方案及产业布局实现阶梯式的发展。

七、发展趋势

目前我国等离子体射频电源系统在半导体领域国产化率仍然很低，在复杂的国际地缘政治形势下，国内半导体设备厂商对于零部件自主可控的要求愈发紧迫，这使得他们对国产等离子体射频电源系统导入意愿空前强烈，同时，以深圳市恒运昌真空技术股份有限公司为代表的国产供应商已经取得了技术沉淀和产品迭代的成果，并且逐步通过了半导体设备商和晶圆厂的产品与技术验证，未来伴随中国大陆半导体市场的快速发展以及国产替代的整体趋势，国产等离子体射频电源系统的市场份额会持续扩大。

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