研判2025！中国半导体行业等离子体射频电源系统行业产业链、市场规模及重点企业分析：技术壁垒高，国产替代仍处关键突破期[图]

内容概况：中国半导体行业等离子体射频电源系统行业近年来发展迅速，但整体仍处于国产替代的关键阶段。2024年，中国半导体行业等离子体射频电源系统行业市场规模约为64.3亿元，同比增长10.10%。等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，其国产化率极低，属于被“卡脖子”最严重的环节之一。这主要是因为半导体设备及零部件行业具有“精确复制”的要求，以保障晶圆厂在产能快速扩张下的芯片品质，而在此情况下，等离子体射频电源系统的量产必须确保高度稳定和可重复的生产工艺，并且需经过精密的校准和严格的测试流程，以保证性能的一致性和长期稳定性。

相关上市企业：英杰电气（300820）、北方华创（002371）

相关企业：宁波金田铜业(集团)股份有限公司、广东坚美铝型材厂（集团）有限公司、山东国瓷功能材料股份有限公司、金发科技股份有限公司、横店集团东磁股份有限公司、广东江粉磁材股份有限公司、泰晶科技股份有限公司、紫光国芯微电子股份有限公司、华润微电子有限公司、斯达半导体股份有限公司、特变电工股份有限公司、保定天威保变电气股份有限公司、武汉凡谷电子技术股份有限公司、浙江正泰电器股份有限公司

关键词：半导体行业等离子体射频电源系统、半导体行业等离子体射频电源系统市场规模、半导体行业等离子体射频电源系统行业现状、半导体行业等离子体射频电源系统发展趋势

一、行业概述

半导体行业等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统，主要由等离子体射频电源和匹配器组成。它通过精确控制电流频率和功率，产生高频电场，在晶圆反应腔体内将特定工艺气体电离，创造并维持高活性、高能量的等离子体，进而实现薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等复杂半导体工艺。

二、行业产业链

半导体行业等离子体射频电源系统行业产业链上游主要包括铜、铝、陶瓷、塑料、铁氧体磁性材料等基础材料，晶体振荡器、功率放大器、变压器、滤波器、开关元件等电子元器件等。产业链中游为等离子体射频电源系统制造商。产业链下游主要应用于半导体行业的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等关键工艺。随着半导体技术的不断进步，对射频电源系统的要求也越来越高，例如在3nm以下技术节点，需要射频电源提供更高的精度和稳定性。

近年来，中国不断加大在半导体技术研发上的投入，从芯片设计到制造工艺，都取得了长足的进步。例如，部分国内企业在先进制程工艺上逐渐缩小与国际领先水平的差距，使得能够生产出更多高性能、高附加值的集成电路产品，从而推动了产量的大幅提升。2025年1-8月，中国集成电路产量为3429.1亿块，同比增长20.53%。等离子体射频电源系统是半导体制造的核心设备之一，广泛应用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入等关键工艺。其性能直接影响集成电路的生产效率和质量。随着中国集成电路产业的快速发展，对等离子体射频电源系统的需求也在不断增加。

相关报告：开云电竞官方网站下载安装 发布的《中国半导体行业等离子体射频电源系统行业市场现状分析及发展潜力研判报告》

三、市场规模

虽然相比欧美等发达国家，我国大陆等离子体射频电源系统行业起步比较晚，但近年来展现出了快速的发展势头。2024年，中国大陆等离子体射频电源系统市场规模约为123.3亿元，同比增长9.50%。从市场结构看，半导体领域仍是最大应用市场，占比超50%，主要受益于中芯国际、长江存储等晶圆厂的扩产及国产设备替代进程加速。光伏领域受Topcon、HJT电池技术驱动；显示面板领域因OLED、Micro LED技术而发展。

中国半导体行业等离子体射频电源系统行业近年来发展迅速，但整体仍处于国产替代的关键阶段。2024年，中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统行业市场规模约为64.3亿元，同比增长10.10%。等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，其国产化率极低，属于被“卡脖子”最严重的环节之一。这主要是因为半导体设备及零部件行业具有“精确复制”的要求，以保障晶圆厂在产能快速扩张下的芯片品质，而在此情况下，等离子体射频电源系统的量产必须确保高度稳定和可重复的生产工艺，并且需经过精密的校准和严格的测试流程，以保证性能的一致性和长期稳定性。

四、重点企业经营情况

中国半导体行业等离子体射频电源系统行业呈现国际巨头主导、国产厂商加速追赶的竞争格局。国际厂商如MKS、AE凭借技术优势占据全球及中国市场主导地位，尤其在高端市场形成垄断。国内龙头企业如恒运昌、英杰电气、北方华创等通过技术突破逐步实现国产替代，但整体国产化率仍处于低位，高端产品仍依赖进口。

四川英杰电气股份有限公司是国内综合性工业电源研发及制造领域具有较强实力和竞争力的企业之一，主要专注于电力电子技术在工业各领域的应用。近年来，公司加大了在半导体及电子材料领域的投入，重点攻关半导体刻蚀、薄膜沉积（CVD/PECVD）、离子注入等关键制程电源技术。部分型号射频电源已实现量产，覆盖5nm刻蚀及PECVD等先进制程。英杰电气的射频电源产品在半导体领域主要用于刻蚀、物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等关键工艺环节。2025年上半年，英杰电气营业收入为7.22亿元，同比下降9.42%；归母净利润为1.19亿元，同比下降32.71%。

北方华创科技集团股份有限公司全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司在2020年收购了北京北广科技股份有限公司射频应用技术相关资产。北京北广科技股份有限公司系前身建于1950年的北京广播器材厂，以射频技术和数字技术为核心。北方华创在等离子体射频电源系统领域，通过整合北广科技的射频技术，协同打造了全频段、多功率、收发一体的系列智能无线电装备。这使得北方华创在半导体设备领域具备了强大的技术基础和研发能力，能够为半导体制造提供高性能的射频电源系统解决方案。2025年上半年，北方华创营业收入为161.42亿元，同比增长29.51%；归母净利润为32.08亿元，同比增长14.97%。

五、行业发展趋势

1、技术创新升级，推动行业核心突破

随着半导体工艺向3nm及以下先进制程演进，等离子体射频电源系统需实现更高频率（如微波段）、更大功率（百kW级）及更智能控制。例如，AI动态调功技术可实时优化功率输出，适应3D NAND高深宽比刻蚀、FinFET尺寸缩小等复杂工艺需求。同时，全数字控制技术将取代传统模拟电路，提升信号处理精度与响应速度，实现微秒级阻抗匹配。此外，高频磁性材料、碳化硅功率器件等关键部件的国产化突破，将降低对进口依赖，提升产业链自主可控能力。预计到2030年，国产射频电源在7nm以下制程的渗透率将显著提升，支撑国产半导体设备在全球市场的竞争力。

2、市场需求增长，推动高性能应用

制程节点的演进和芯片及工艺复杂度的提升，将带动薄膜沉积和刻蚀等半导体设备用量的大幅增加，配套等离子体射频电源系统的用量及价值占比也将持续提升。随着制程节点的不断演进，薄膜沉积设备和刻蚀设备等半导体设备的需求将持续上升。等离子体射频电源系统作为这些设备的核心零部件，其性能直接影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率。

3、加快产业链整合，推动国产替代加速

在当前复杂的国际地缘政治形势下，欧美等国对我国半导体产业的限制加剧，我国半导体产业的供应链安全面临严峻挑战。半导体设备厂商对于零部件自主可控的要求愈发紧迫，尤其是等离子体射频电源系统这类“卡脖子”的核心零部件。目前，中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统国产化率仍较低，未来国产替代空间广阔。以深圳市恒运昌真空技术股份有限公司为代表的国产供应商，经过多年的技术沉淀和产品迭代，已经逐渐取得半导体设备商和晶圆厂的产品和技术验证，并实现了等离子体射频电源系统产品的国产替代和批量供货。未来，随着国产技术的不断进步和市场份额的持续扩大，国产等离子体射频电源系统有望在半导体领域占据更重要的地位。

以上数据及信息可参考开云电竞官方网站下载安装 （www.xtrasounds.com）发布的《中国半导体行业等离子体射频电源系统行业市场现状分析及发展潜力研判报告》。开云电竞官方网站下载安装 是中国领先产业咨询机构，提供深度产业开云手机官网入口网址 、商业计划书、可行性开云手机官网入口网址 及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【开云电竞官方网站下载安装 】公众号，每天及时掌握更多行业动态。