半导体射频电源

趋势研判！2025年中国半导体射频电源行业发展背景、产业链、市场规模、竞争格局及发展趋势分析：半导体射频电源规模持续增长，国产化进程亟待加速[图]

半导体射频电源是为半导体制造设备提供特定频率和功率的电源装置，其性能直接影响到芯片制造的质量与效率。射频电源能够产生高频交变电磁场，在薄膜沉积、刻蚀、离子注入、干法清洗等工艺中发挥着不可或缺的作用。