按照应用领域不同,电子溅射靶材可以分为半导体靶材、平面靶材、镀膜玻璃靶材、太阳能光伏靶材等,不同应用领域对金属材料的选择和性能要求存在一定的差异,其中半导体集成电路用的溅射靶材技术要求最高,最苛刻。
靶材的主要种类与用途
靶材种类 | 主要用途 | 主要品种 | 性能要求 |
半导体 | 制备集成电路核心材料 | W、钨钛(Wti)、Ti、Ta、Al合金、Cu等,纯度在4N或5N以上 | 技术要求最高、超高纯度金属、高精度尺寸、高集成度 |
平面显示 | 溅射技术保证生产薄膜均匀性,提高生产率降低成本 | 铌靶、硅靶、Cr靶、钼靶、MoNb、Al靶、铝合金靶、铜靶、铜合金 | 技术要求高、高纯度材料、材料面积大、均匀性程度高 |
装饰 | 用于产品表面镀膜,起美化耐磨耐腐蚀的效果 | 铬靶、钛靶、锆(Zr)、镍、钨、钛铝、CrSi、CrTi、CrAlZr、不锈钢靶 | 技术要求一般,主要用于装饰、节能等 |
工具 | 工具、模具表面强化,提高寿命与被制造零件质量 | TiAl靶、铬铝靶、Cr靶、Ti靶、TiN、TiC、Al203等 | 性能要求较高、使用寿命延长 |
太阳能光伏 | 溅射薄膜技术用于第四代薄膜太阳能电池的制作 | 氧化锌铝靶、氧化锌靶、锌铝靶、钼靶、硫化镉(CdS)靶、铜铟镓硒等 | 技术要求高、应用范围大 |
电子器件 | 用于薄膜电阻、薄膜电容 | NiCr靶、镍铬硅靶、铬硅靶、钽(Ta)靶、镍铬铝靶等 | 要求电子器件尺寸小、稳定性好、电阻温度系数小 |
信息存储 | 用于制作磁储存器 | Cr基、钴(Co)基、钴铁基、Ni基等合金 | 高储存密度、高传输速度 |
数据来源:公开资料整理
相关报告:开云电竞官方网站下载安装 发布的《2017-2023年中国高纯溅射靶材市场调查研究及投资机会分析报告》
溅射靶材产业链主要包括金属提纯、靶材制造、溅射镀膜和终端应用等环节,其中,靶材制造和溅射镀膜环节是整个溅射靶材产业链中的关键环节。高纯溅射靶材制造环节技术门槛高、设备投资大,具有规模化生产能力的企业数量相对较少,主要分布在美国、日本等国家和地区,其中,部分企业同时开展金属提纯业务,将产业链延伸到上游领域;部分企业只拥有溅射靶材生产能力,高纯度金属需要上游企业供应。尤其是半导体用溅射靶材领域,是一个被由美国和日本的少数公司(日矿金属、霍尼韦尔、东曹、普莱克斯)等跨国公司垄断的行业。
由于下游产业蓬勃发展,溅射靶材的市场需求量也在快速提高,尤其是制作工艺更高的高纯溅射靶材(纯度:99.9%-99.999%),更是供不应求,呈现高速增长的势头。2020年全球溅射靶材的总市场规模将超过160亿美元,而高纯溅射靶材市场规模年复合增长率可达到13%。高纯溅射靶材主要对应平板显示、半导体、记录媒体与太阳能电池四大领域。
全球高纯溅射靶材市场规模

数据来源:公开资料整理
在半导体领域,根据数据,2015年全球市场规模为13亿美元(其中晶圆制造领域6.3亿美元,封测领域5.5亿美元),占全球高纯靶材市场的12%。受益于近年来中国集成电路制造和封测产业的快速发展,中国大陆半导体靶材市场规模呈现快速增长,2015年市场规模为11.5亿元。
2012-2017年全球半导体高纯靶材市场规模(亿美元)

数据来源:公开资料整理
2011-2016年中国半导体靶材市场规模

数据来源:公开资料整理
由于高纯溅射靶材对材料的纯度、稳定性要求极高,因此属于技术密集型产业,对供应商的技术能力要求苛刻,目前主要被日本和美国企业所垄断。
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